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Materiali di processo a semiconduttore a conti con azoto trifluoruro

Efficiente trifluoruro di azoto per pannelli di visualizzazione LCD

Prezzo unitario: USD 9999 / Ton

Min.Order Prezzo unitario
100 Ton USD 9999 / Ton

Introduzione al prodotto Il trifluoruro di azoto (NF 3 ) è una sorta di gas stabile incolore, inodore e di carattere, è anche una specie di ossidante forte. Il suo punto di fusione è 206,8 ℃, il punto di ebollizione è 129,0 ℃, insolubile in acqua....

Cina Materiali di processo a semiconduttore a conti con azoto trifluoruro Fornitori

Il trifluoruro di azoto nell'industria della microelettronica è una sorta di eccellente gas di attacco al plasma, che è rotto in ioni attivo di fluoro durante il processo di attacco al plasma. Per l'incisione plasmatica di silicio e nitruro di silicio, l'uso di trifluoruro di azoto ha una velocità di incisione e una selettività più elevata rispetto all'uso di tetrafluoro di carbonio o tetrafruolo di carbonio e gas misto di ossigeno, specialmente nel processo di infrucco di materiale integrato con il circuito integrato con lo spessore di meno di 1,5 μm, Il trifluoruro di azoto ha un'eccellente velocità di attacco e selettività, per di più, non vi è alcun inquinamento sulla superficie del materiale inciso, è anche un buon agente di pulizia.
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